| 发明名称 | 陶瓷膜及其制造方法和半导体装置及压电元件 | ||
| 摘要 | 陶瓷膜的制造方法,包含通过使原材料体20结晶化而形成陶瓷膜30的工序,原材料体20以混合存在的状态含有种类不同的原料,种类不同的原料彼此在原料的结晶化中的晶体生长条件和晶体生长机构的至少一方存在相互不同的关系。根据本发明的制造方法,能够改善陶瓷膜的表面形态。 | ||
| 申请公布号 | CN1388793A | 申请公布日期 | 2003.01.01 |
| 申请号 | CN01802497.1 | 申请日期 | 2001.06.14 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 名取荣治;古山晃一;田崎雄三 |
| 分类号 | C01G1/00 | 主分类号 | C01G1/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 魏金玺;杨丽琴 |
| 主权项 | 1.一种陶瓷膜的制造方法，其特征在于：包含通过使原材料体结晶化而形成陶瓷膜的工序，上述原材料体以混合存在的状态含有种类不同的原料，种类不同的原料存在在原料的结晶化中的晶体生长条件和晶体生长机构的至少一方相互不同的关系。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||