| 发明名称 | 外观检查用投光装置 | ||
| 摘要 | 本发明的外观检查用投光装置,其包括:照明光源;将来自该照明光源的光向被检查部件反射的反射光学系统以及配置在该反射光学系统的反射光路上的聚光光学系统;所述聚光光学系统至少被分成2个部分,通过来自这些被分割的各聚光光学系统的照明光束能够照射所述被检查部件的整个表面。 | ||
| 申请公布号 | CN1388897A | 申请公布日期 | 2003.01.01 |
| 申请号 | CN01802520.X | 申请日期 | 2001.08.23 |
| 申请人 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 发明人 | 今井伸明;西泽诚 |
| 分类号 | G01N21/84;G01M11/00 | 主分类号 | G01N21/84 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种外观检查用投光装置，包括：照明光源；反射光学系统，使来自该照明光源的光向被检查部件反射；以及聚光光学系统，配置在该反射光学系统的反射光路上；其特征在于，所述聚光光学系统至少被分割成2个部分，通过来自这些被分割的各聚光光学系统的照明光束，能够照射所述被检查部件的整个表面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||