电容式压力微传感元件及制造方法与信号读取方法

摘要

电容式压力微传感元件及制造方法与信号读取方法。该元件结构为平行板电容,包含第一电极板及第二电极板。第一电极板在平行电容底部固定于基板上,第二电极板在平行板电容上部,有至少一只脚的悬浮薄板结构。该元件还包含信号读取电路,在每一平行板电容旁,利用改良式动态随机存取存储器信号读取结构,读取每一平行板电容的信号,而每一平行板电容及其信号读取电路通过集成电路工艺制作在同一芯片上。

主权项

1.一种电容式压力微传感元件，用于指纹辨识，包含：一基板；一平行板电容，制作在该基板上方，用以感应指纹凹凸面所施加的压力，该平行板电容的结构至少包含：一第一电极板，位于该平行板电容的底部，且固定在该基板之上；一第二电极板，位于该平行板电容的上部，为具有至少一只连接脚的一悬浮薄板，其中，该至少一只连接脚是用以支撑该悬浮薄板，其一端连接至该悬浮薄板，另一端则固定于该基板上；一空气间隙，位于该第一电极板与该第二电极板之间；及至少一凸块，位于该第二电极板上方的中央部分；一信号读取电路，位于该平行板电容旁，用以读取及输出该平行板电容所传递的信号；以及一高分子保护层，用以保护此压力微传感元件，并作为一手指接触面。