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经营范围
发明名称
Silica films
摘要
申请公布号
US3287162(A)
申请公布日期
1966.11.22
申请号
US19640340529
申请日期
1964.01.27
申请人
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION
发明人
CHU TING LI;GAVALER JOHN
分类号
C23C16/40;H01L21/316
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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