发明名称 Silica films
摘要
申请公布号 US3287162(A) 申请公布日期 1966.11.22
申请号 US19640340529 申请日期 1964.01.27
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 CHU TING LI;GAVALER JOHN
分类号 C23C16/40;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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