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发明名称 METHOD FOR PRODUCING MICROMECHANICAL STRUCTURES
摘要
申请公布号 KR20020097142(A) 申请公布日期 2002.12.31
申请号 KR1020027008064 申请日期 2002.06.21
申请人 发明人
分类号 B81C3/00 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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