| 摘要 |
A találmány tárgya félvezető eszköz és eljárás annak előállítására. Azeljárás során az első vezetőképesség típusú lapkába, árkokat (60)mélyedéseket alakítanak ki, majd egy további lépésben a lapka mindkétoldalát adalékatomokkal vonják be, majd ezt követően diffúzióseljárást hajtanak végre, és egy további lépésben a lapkát egyedichipekre darabolják szét oly módon, hogy minden egyes chip belsőterületében (70) legalább egy árok (60) van, ahol a mélyedéseket atalálmány szerint fűrészelik. A találmány szerinti félvezető eszköznekelső vezetőképesség típusú első rétege (10) alsó és felső oldala, ahola felső/oldal egy második vezetőképesség típusú második réteggel (30)van borítva és az alsó oldalán, egy harmadik réteg van kialakítva,továbbá az első rétegen kialakított mélyedés (60) következtében aterületek (40, 50) különböző vastagságúak. Ó |
