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<p>Eine Aufsetzvorrichtung und ein Verfahren zum Aufsetzen von Objekten auf Substrate sind geeignet, sowohl sehr geringe, als auch sehr große Aufsetzkräfte des Objekts (100) auf das Substrat zu erreichen. Hierzu wird ein Greifer (210), von welchem das Objekt (100) aufnehmbar ist, relativ zu einem Halter (220) (220) in einer Aufsetzrichtung (A) vorgespannt. Die Vorspannung erfolgt über ein erstes, an dem Halter (220) (220) vorgesehenes Koppelelement (270) sowie ein zweites, an dem Greifer (210) vorgesehenes zweites Koppelelement (260). Zwischen dem ersten und dem zweiten Koppelelement wird ein elektrisches und/oder magnetisches Feld erzeugt, von welchem eine Kraftwirkung zwischen dem Halter (220) (220) und dem Greifer (210) bewirkt wird. Dadurch ist beim Aufsetzen des Objekts (100) mittels des Greifers (210) eine vorbestimmte Aufsetzkraft erreichbar.</p> |
