| 主权项 |
1.一种基板之卸载装置,其包括:一处理站,用以排列在前一件设备中处理之基板,且每一基板具有不同的尺寸;一输送机器人,用以抬起排列于该处理站上之基板,并把基板装载至卡匣或下一件设备之预定位置,而与基板之尺寸无关;及一设备控制器,用以控制该等基板在该处理站上之阵列及控制上述输送机器人之动作,使其能够在卡匣或下一件设备之预定位置装载该基板,而与该等基板之尺寸无关。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该处理站包括多个停止杆,用以阻止该等基板从前一件设备滑动且移入。3.如申请专利范围第2项所述之装置,其中该停止杆形成于处理站之前侧而与该等基板之尺寸无关。4.如申请专利范围第3项所述之装置,其中当该基板藉由该等停止杆而排列于处理站之前侧时,则该处理站旋转180,使该基板排列于处理站之后侧。5.如申请专利范围第4项所述之装置,其中该输送机器人抬起排列于该处理站后侧之基板,并以同一半径旋转该基板而与该基板之尺寸无关,并把排列的基板装载至卡匣或下一件设备。6.如申请专利范围第3项所述之装置,其中该处理站进一步包括多个侦测感测器,用以侦测上述藉由该等停止杆而排列之基板的尺寸。7.如申请专利范围第6项所述之装置,其中,将藉由该等感测器而侦测到之基板尺寸资讯传送给该设备控制器,并且,该设备控制器根据基板尺寸资讯控制上述输送机器人之旋转半径,而使基板被装载至卡匣或下一件设备之预定位置。8.如申请专利范围第7项所述之装置,其中该输送机器人包括:一基座;一旋转轴,于基座上,并能够旋转;一旋转臂,连接于该旋转轴,并能够在旋转轴上旋转;一滑动臂,与该旋转臂连接用以滑动,控制整个臂之长度;及一输送夹具,其与该滑动臂连接,并具有吸附该基板之真空吸附板。9.如申请专利范围第8项所述之装置,其中该基板包含一原始基板及多个切过的基板,并且,该输送机器人,在当该原始基板排列于该处理站上且臂长设定为d1时,使用该输送夹具抬起该原始基板,并在旋转轴上旋转该原始基板,且把该原始基板装载至该卡匣或该下一件设备,并且当该切过的基板排列于该处理站上时,该输送机器人使该滑动臂向旋转臂方向滑动,在该输送机器人之臂长为d2(d2<d1)时,使用该输送夹具抬起该切过的基板,然后使该滑动臂向旋转臂之相反方向滑动,在臂长为d1时,在旋转轴上旋转该旋转臂,并且把该切过的基板装载至卡匣或下一件设备。10.如申请专利范围第2项所述之装置,其中该等停止杆可以移动,并且该基板系藉由该等停止杆而排列于该后侧。11.如申请专利范围第10项所述之装置,其中该等停止杆在基板移至该处理站前,系形成于该处理站之前侧,当该基板藉由该等停止杆而排列于该处理站之前侧时,根据基板尺寸之资讯,该设备控制器移动该等停止杆,俾使该基板置于该处理站之后侧。12.如申请专利范围第11项所述之装置,其中该处理站进一步包括多个侦测感测器,用以侦测藉由该等停止杆而排列于前侧之基板之尺寸,且该设备控制器接收由该侦测感测器所侦测到之基板尺寸资讯。13.如申请专利范围第11项所述之装置,其中该设备控制器从前一件设备或一主机接收已移入之基板尺寸资讯。14.如申请专利范围第10项所述之装置,其中该设备控制器系根据从该主机或前一件设备所传来之基板尺寸资讯来移动该等停止杆,从而使该基板在移入该处理站前排列于处理站之后侧。15.如申请专利范围第14项所述之装置,进一步包括一由操作人员手动输入基板尺寸资讯所至之操作员介面。16.一种卸载基板之方法,包括如下步骤:排列在前一件设备中已执行过工作之基板于一处理站前侧;传送该已排列之基板之尺寸资讯给一设备控制器;及根据该已传送后的基板之尺寸资讯,控制传送基板之输送机器人的旋转半径,并装载该基板至卡匣或下一件设备之预定位置。17.如申请专利范围第16项所述之方法,其中该基板包括该原始基板及该等切过的基板,且当该原始基板排列于该处理站上时,该设备控制器将输送机器人之臂长设为d1而抬起该原始基板,并在旋转轴上旋转该原始基板,且把该原始基板装载至卡匣或下一件设备,而当切过的基板排列于该处理站上时,该输送机器人将输送机器人之臂长设为d2(d2<d1)而抬起该切过的基板,并将输送机器人之臂长设为d1,而在该旋转轴上旋转该切过的基板,并装载该基板至该卡匣或下一件设备。18.如申请专利范围第17项所述之方法,其中该排列过之基板之尺寸系被该处理站上之位置侦测感测器所侦测,且该设备控制器系根据该基板之侦测结果而控制输送机器人之旋转半径。19.如申请专利范围第17项所述之方法,其中该设备控制器,从主机、前一件设备或操作员介面接收排列于该处理站上之基板尺寸资讯,并且控制输送机器人之旋转半径。20.如申请专利范围第17项所述之方法,其中该设备控制器,接收由该处理站上之位置侦测感测器所侦测之基板实际尺寸资讯及来自主机之基板尺寸资讯,并判断侦测到之基板实际尺寸与从主机接收之基板尺寸是否一致。21.如申请专利范围第20项所述之方法,其中该设备控制器于侦测到之基板实际尺寸资讯与从主机接收之基板尺寸资讯不同时,中止卸载基板。22.如申请专利范围第20项所述之方法,其中该设备控制器于侦测到之基板实际尺寸资讯与从主机接收之基板尺寸资讯不同时,系根据侦测之基板实际尺寸而控制该输送机器人之旋转半径。23.一种卸载基板之方法,包括如下步骤:(a)将一于前一件设备中已执行过工作之基板排列于处理站之后侧而与该基板的尺寸无关;及(b)以一同一半径而与该基板的尺寸无关,旋转该排列过之基板,并装载该基板至卡匣或下一件设备之预定位置。24.如申请专利范围第23项所述之方法,其中步骤(a)包括如下步骤:藉由位于该处理站前侧之多个停止杆,排列该于处理站前侧之基板而与该基板之尺寸无关;及根据排列于前侧之基板尺寸,向后侧方向移动上述停止杆,并排列上述基板于处理站之后侧。25.如申请专利范围第24项所述之方法,其中该基板之尺寸系藉由该处理站上之位置侦测感测器所侦测。26.如申请专利范围第24项所述之方法,其中该基板尺寸,系由主机、前一件设备或操作员介面所传送。27.如申请专利范围第23项所述之方法,其中步骤(a)包括如下步骤:接收来自主机、前一件设备或操作员介面之将被移入到处理站之基板尺寸资讯;及根据收到之尺寸资讯,预先调整处理站上之停止杆位置,且当基板移入到该处理站时,使用该等停止杆而排列在后侧之基板。28.如申请专利范围第23项所述之方法,其中步骤(a)包括如下步骤:藉由使用位于处理站前侧之停止杆,排列于处理站前侧之基板而与基板尺寸无关;及旋转该处理站180,并排列该处理站后侧之基板。图式简单说明:图1(A)及图1(B)显示习知用以卸载原始基板及已切割过之基板的方法;图2显示根据本发明之较佳实施例的基板卸载装置之方块图;图3(A)至图3(C)显示根据本发明第一实施例的卸载基板之方法;图4(A)至图4(C)显示分别处理关于原始基板,二分之一基板及三分之一基板的输送机器人状态;图5(A)至图5(C)显示根据本发明之第二实施例的卸载基板方法;图6(A)至图6(C)分别显示处理关于原始基板,二分之一基板及三分之一基板的输送机器人状态;图7(A)至图7(F)显示根据本发明之第三实施例的卸载基板方法;以及图8显示根据本发明实施例之卸载装置的全部作业流程图。 |
