| 主权项 |
1.一种高温超纯水制造装置,其中具备将原水凝集 过滤实施脱气处理的前处理水,或将一次纯水系获 得的一次纯水处理获得高温超纯水的蒸发器,和消 除在以蒸发器获得的超纯水含有微量金属离子的 离子交换装置者。2.如申请专利范围第1项之高温 超纯水制造装置,其中离子交换装置系填充混床式 离子交换树脂或强酸性阳离子交换树脂者。3.如 申请专利范围第1项之高温超纯水制造装置,其中 离子交换装置系填充离子交换膜或离子交换纤维 者。4.如申请专利范围第1项之高温超纯水制造装 置,其中离子交换装置系属于连续通水型电气脱离 子交换装置者。5.如申请专利范围第1项之高温超 纯水制造装置,其中离子交换装置系填充耐热性的 混床式离子交换树脂,耐热性的强酸性阳离子交换 树脂,耐热性的离子交换膜或耐热性的离子交换纤 维者。6.如申请专利范围第1项之高温超纯水制造 装置,其中再具备藉由热交换以蒸发器获得的高温 微量金属离子未消除超纯水和以离子交换装置处 理的常温微量金属离子已完成消除超纯水,在供给 于离子交换装置以前冷却上述高温的微量金属离 子未消除超纯水,同时加热常温的微量金属离子已 完成消除超纯水的生产水热交换器者。7.如申请 专利范围第6项之高温超纯水制造装置,其中再具 备将以生产水热交换器冷却的微量金属离子未消 除超纯水冷却至40℃以下作为朝离子交换装置供 给水的冷却热交换器者。8.如申请专利范围第6或 第7项之高温超纯水制造装置,其中生产水热交换 器的接液部系钛制,对于电解研磨实施特殊热处理 的氧化不动态不锈钢制成对于电解复合研磨实施 特殊热处理的氧化不动态不锈钢制者。9.如申请 专利范围第7项之高温超纯水制造装置,其中冷却 热交换器的接液部系不锈钢制、钛制,对于电解研 磨实施特殊热处理的氧化不动态不锈钢制或对于 电解复合研磨实施特殊热处理的氧化不动态不锈 钢制者。10.一种药液调制装置,其中具备申请专利 范围第1-第9项中任一项的高温超纯水制造装置,和 将依高温超纯水制造装置获得的高温超纯水分解 为电解阳极水和电解阴极水的电场离子水制造装 置,和将电解阳极水及电解阴极水直接供给于半导 体或其他精密设备的处理装置药液槽的供给装置 者。11.一种药液调制装置,其中具备申请专利范围 第1-第9项中任一项的高温超纯水制造装置,和将依 高温超纯水制造装置获得的高温超纯水及混合于 高温超纯水的药液直接供给于半导体或其他精密 设备的处理装置药液槽,同时调整以便药液槽内的 药液形成所希望的温度或浓度的药液供给调整装 置者。12.一种药液调制装置,其中具备申请专利范 围第1-第9项中任一项的高温超纯水制造装置,和将 药剂混合于该高温超纯水制造装置获得的高温超 纯水,获得供给于半导体或其他的精密设备的处理 装置药液槽药液的混合装置者。13.一种药液调制 装置,其中具备申请专利范围第1-第9项中任一项的 高温超纯水制造装置,和在依高温超纯水制造装置 获得的高温超纯水,混合HCl、NH3.HF、NH4F、SOX、NOX 等的材料气体或O3.O2.氧游离基等氧化系气体的混 合装置者。14.一种高温超纯水制造方法,其中使用 申请专利范围第1-第9项中任一项的高温超纯水制 造装置获得高温超纯水者。15.一种药液调制方法, 其中使用申请专利范围第10-第13项药液调制装置, 获得用于半导体或其他精密设备制造的药液者。 图式简单说明: 第1图系表示本发明的高温超纯水制造装置第1实 施例的流程图。 第2图系表示本发明的高温超纯水制造装置第2实 施例的流程图。 第3图系表示习用超纯水制造装置的流程图。 第4图系表示习用高温超纯水制造装置的流程图。 第5图系表示半导体加工处理过程例的图。 第6图系表示连续通水型电气脱离子装置一例的图 。 第7图系表示连续通水型电气脱离子装置其他例的 图。 第8图系表示连续通水型电气脱离子装置的又他例 的图。 第9图系表示本发明的药液调制装置第1实施例的 流程图。 第10图系表示本发明的药液调制装置第2实施例的 流程图。 第11图系表示本发明的药液调制装置第3实施例的 流程图。 第12图系表示本发明的药液调制装置第4实施例的 流程图。 |
