Selbstdetektierender SPM-Messkopf

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen selbstdetektierenden Messkopf für ein Rastersonden-Mikroskop (SPM), welcher von einem Cantilever ausgebildet ist, wobei der Cantilever mit einem Piezo-Widerstandselement (20) versehen und durch einen selbstdetektierenden Messkopf gekennzeichnet ist, welcher keinen Kriechstrom während des Vermessens eines Oberflächenpotentials einer Probe erzeugt. DOLLAR A Eine Isolation zwischen einer leitfähigen Schicht (22) und einem Piezo-Widerstandselement (20) steigt an, indem eine Oxidschicht (17) zwischen der in der Umgebung einer Messspitze (12) und der Messspitze (12) aufgebrachten, leitfähigen Schicht (22) eingelegt wird.