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Um das Be- und Entladen von scheibenförmigen Substraten in ein Behandlungsbecken hinein bzw. aus dem Behandlungsbecken heraus zu vereinfachen, sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Be- und Entladen eines Behandlungsbeckens vor. Beim Beladen werden die scheibenförmigen Substrate mit einem Greifer, der wenigstens zwei gegenüberliegende Greifelemente mit zueinander weisenden Aufnahmeschlitzen aufweist ergriffen, die Substrate werden oberhalb des Behandlungsbeckens derart positioniert, dass sie zu Führungsschlitzen innerhalb des Behandlungsbeckens ausgerichtet sind, und der Greifer wird abgesenkt, um die Substrate teilweise in das Behandlungsbecken abzusenken, bis sie ein angehobenes Substrathubelement im Behandlungsbecken kontaktieren. Anschliessend werden die Greifelemente in eine Stellung auseinander bewegt, in der die Substrate nicht mehr gehalten werden, jedoch in den Aufnahmeschlitzen geführt sind und durch Absenken des Hubelements werden sie weiter in das Behandlungsbecken abgesenkt. Beim Entladen der Substrate wird zunächst ein Greifer, der wenigstens zwei gegenüberliegende Greifelemente mit zueinander weisenden Aufnahmeschlitzen oberhalb des Behandlungsbeckens derart positioniert, dass die Führungsschlitze im Becken und die Aufnahmeschlitze in den Greifelementen zueinander ausgerichtet sind. Anschliessend werden die Substrate durch das Substrathubelement angehoben und in die Aufnahmeschlitze der Greifelemente eingeführt. Beim Erreichen einer bestimmten Position werden die Greifelemente aufeinander zu bewegt um die Substrate zu ergreifen und die Substrate werden durch Anheben des Greifers aus dem Behandlungsbecken herausgehoben.
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