发明名称 DEVICE FOR DETERMINING THE ELECTRIC RESISTANCE OF THIN EPITAXIAL SEMICONDUCTOR LAYERS
摘要
申请公布号 CA761592(A) 申请公布日期 1967.06.20
申请号 CAD761592 申请日期
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WOLFGANG KELLER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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