电容压力传感器或压差传感器

摘要

为避免电极之间的短路，压力传感器包括由陶瓷材料制的基底，在其一面设有一电极和一个由原始玻璃原料形成的玻璃层；一个由陶瓷材料制的膜片，它被起隔离层作用的原始玻璃原料连接到和压力密封到基底上，隔离层把膜片及基底固定成隔开一段距离形成一腔，膜片在腔的一侧设有电极，引线向里延伸和/或在隔离层区域穿过膜片到电极。压差传感器制成相对于基底的中心面成镜面对称，因而带有两个压力传感器。它们有充满油连接两个腔的孔和穿过基底穿到外面的压力连通通道。在进一步改型中，由基体的陶瓷材料或高温玻璃制的绝缘层可分别固定在玻璃层上。

主权项

1.一种电容压力传感器，包括：一个由陶瓷材料制的基底(11)，它的一面设有第一金属电极(13)，由原始的玻璃原料形成的玻璃层(14)至少设在第一金属电极上；一个由陶瓷材料制的膜片(12)，所述的膜片被起隔离层(17)作用的原始玻璃原料永久地连接到并被压力密封到基底(11)上，隔离层把膜片及基底固定成彼此隔开一定的距离形成一腔(16)，和膜片在腔的一侧设有第二金属电极(15)；和引线(18，19)，它们在隔离层(17)区域向里延伸和/或穿过膜片(12)到电极(13，15)。