发明名称 | 相对于显微镜的照明光路调节灯的方法和相应的显微镜 | ||
摘要 | 本发明涉及一种在显微镜中自动调灯的方法,所述显微镜的照明光路中没有光束均化器,本发明还涉及为使用该方法而设置的显微镜。根据本发明,用检测器总体地测量显微镜物镜的光瞳平面后面或照明光路的光瞳平面后面的光照功率,并且相对于照明光路调节所述灯,使得由检测器检测的光照功率最大。在显微镜中,根据本发明所述方法,为了自动调灯,例如在更换灯之后自动调灯,而设置了用于调节灯的电机驱动器,所述驱动器由分析和控制计算机依次控制,直到用检测器测出最大光照功率为止。 | ||
申请公布号 | CN1385729A | 申请公布日期 | 2002.12.18 |
申请号 | CN02124659.9 | 申请日期 | 2002.03.03 |
申请人 | 卡尔蔡斯半导体制造技术股份公司 | 发明人 | P·奥特 |
分类号 | G02B21/06 | 主分类号 | G02B21/06 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;张志醒 |
主权项 | 1.相对于显微镜的照明光路(19,119)调节灯(5,105)的方法,所述显微镜的照明光路中没有光束均化器,其中用二极管(16,116)测量显微镜物镜的光瞳平面(18)后面或照明光路的光瞳平面(112)后面的总光照功率,并且相对于照明光路(19,119)调节灯体(105,115),使得由检测器检测的光照功率最大。 | ||
地址 | 联邦德国上科亨 |