| 发明名称 | 高纯度氟聚合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及高纯度氟聚合物和该材料的制造方法。这些聚合物特别适合用于半导体工业。该方法包括通过氟化作用除去不稳定的聚合物端基、和通过用酸的水溶液介质萃取来除去重金属杂质。 | ||
| 申请公布号 | CN1386121A | 申请公布日期 | 2002.12.18 |
| 申请号 | CN01802172.7 | 申请日期 | 2001.05.23 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | T·J·布隆;D·迪谢纳;G·勒尔;A·基利切;T·齐普利斯;R·考尔巴赫;H·斯特拉伯 |
| 分类号 | C08F8/22;C08F6/22 | 主分类号 | C08F8/22 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1.可萃取金属离子含量小于0.05ppm的氟聚合物。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||