发明名称 Fabrication of magnesium diboride superconductor thin films and electronics devices by ion implantation
摘要
申请公布号 GB0226575(D0) 申请公布日期 2002.12.18
申请号 GB20020026575 申请日期 2002.11.14
申请人 UNIVERSITY OF SURREY 发明人
分类号 C23C14/06;C23C14/48;C23C14/58;H01L39/22;H01L39/24 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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