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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR PLANARIZING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE IN A PROBE CARD ASSEMBLY
摘要
申请公布号
EP1266230(A2)
申请公布日期
2002.12.18
申请号
EP20010924201
申请日期
2001.03.16
申请人
FORMFACTOR, INC.
发明人
MATHIEU, GAETAN, L.;ELDRIDGE, BENJAMIN, N.;GRUBE, GARY, W.
分类号
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R3/00
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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