发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SHALLOW TRENCH ISOLATION (STI) SIDEWALL IMPLANT
摘要
申请公布号 KR20020094955(A) 申请公布日期 2002.12.18
申请号 KR1020027015543 申请日期 2002.11.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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