| 发明名称 |
BEAM DELIVERY AND IMAGING FOR OPTICAL PROBING OF A DEVICE OPERATING UNDER ELECTRICAL TEST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1266204(A1) |
申请公布日期 |
2002.12.18 |
| 申请号 |
EP20010925126 |
申请日期 |
2001.03.15 |
| 申请人 |
SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
LO, WILLIAM, K. |
| 分类号 |
G01N21/00;G01R31/302;G01N21/956;G01R31/311;G02B21/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00 |
主分类号 |
G01N21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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