| 发明名称 |
IMPROVED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG93234(A1) |
申请公布日期 |
2002.12.17 |
| 申请号 |
SG20000001829 |
申请日期 |
2000.03.30 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. |
发明人 |
YANG PAN |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;F24F7/06;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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