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发明名称
Verfahren zum Aufdampfen einer kristallinen Halbleiterschicht auf ein Substrat
摘要
申请公布号
AT256184(B)
申请公布日期
1967.08.10
申请号
AT19650008148
申请日期
1965.09.06
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
分类号
C30B25/02;H01L21/00
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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