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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002543589(A) 申请公布日期 2002.12.17
申请号 JP20000614498 申请日期 2000.04.26
申请人 发明人
分类号 C01B21/076;C23C16/34;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C01B21/076
代理机构 代理人
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