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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002543294(A) 申请公布日期 2002.12.17
申请号 JP20000615429 申请日期 2000.05.02
申请人 发明人
分类号 C23F11/08;C23F11/10;C23F11/14;C23F11/18;C23F14/02;(IPC1-7):C23F11/14 主分类号 C23F11/08
代理机构 代理人
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