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发明名称 FREE FLOATING SHIELD AND SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 SG93235(A1) 申请公布日期 2002.12.17
申请号 SG20000001878 申请日期 2000.03.31
申请人 SILICON VALLEY GROUP, THERMAL SYSTEMS LLC 发明人 BARTHOLOMEW, LAWRENCE DUANE;DEDONTNEY, JAY BRIAN;PEABODY, CHRISTOPHER A.
分类号 H01L21/20;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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