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发明名称
摘要
申请公布号 JP3356586(B2) 申请公布日期 2002.12.16
申请号 JP19950135000 申请日期 1995.06.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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