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发明名称
摘要
申请公布号
JP3356816(B2)
申请公布日期
2002.12.16
申请号
JP19930045439
申请日期
1993.03.05
申请人
发明人
分类号
H01L27/14;H01L27/146;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10
主分类号
H01L27/14
代理机构
代理人
主权项
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