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发明名称
摘要
申请公布号	JP3358444(B2)	申请公布日期	2002.12.16
申请号	JP19960153941	申请日期	1996.06.14
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;G01R31/28;G01R31/3183;G01R31/319;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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