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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ZERSTÖRUNGSFREIEN OBERFLÄCHEN-INSPEKTION
摘要
申请公布号 AT228651(T) 申请公布日期 2002.12.15
申请号 AT19940104137T 申请日期 1994.03.17
申请人 TENCOR INSTRUMENTS 发明人 MARXER,NORBERT
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G11B5/84;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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