发明名称 VERBESSERTE ISOLIERUNG ZWISCHEN DIFFUSIONS- LEITUNGEN IN EINEM SPEICHERFELD
摘要
申请公布号 AT228719(T) 申请公布日期 2002.12.15
申请号 AT19950931812T 申请日期 1995.09.13
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 ONG, TONG-CHERN;TANG, DANIEL, N.
分类号 H01L21/762;H01L21/8247;H01L27/105;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/824 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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