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发明名称 AC Speisung eines Polysilizium Druckwandlers
摘要
申请公布号 DE69528775(D1) 申请公布日期 2002.12.12
申请号 DE19956028775 申请日期 1995.12.15
申请人 THE FOXBORO CO., FOXBORO 发明人 MCHALE, J.;FUNG, D.
分类号 G01L9/00;G01L9/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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