| 发明名称 |
ZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM POLIEREN EINES VERBUNDES, DER TITAN ENTHÄLT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69809228(D1) |
申请公布日期 |
2002.12.12 |
| 申请号 |
DE19986009228 |
申请日期 |
1998.03.16 |
| 申请人 |
RODEL, INC. |
发明人 |
WANG, JIUN-FANG;SETHURAMAN, R.;COOK, MELBOURNE |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C23F1/14;C08L55/02;H01L21/306 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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