发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT USING THE SAME, METHOD FOR PRODUCING RESIST PATTERN, RESIST PATTERN AND SUBSTRATE HAVING THE RESIST PATTERN LAMINATED THEREON
摘要
申请公布号 KR20020092920(A) 申请公布日期 2002.12.12
申请号 KR1020027005163 申请日期 2002.04.22
申请人 发明人
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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