| 发明名称 |
Abbildungssystem zur Positionierung einer Messspitze auf einen Kontaktbereich eines Mikrochips |
| 摘要 |
Abbildungssystem zur Hilfe bei einer Positionierung einer Messspitze (6) beim Aufsetzen auf einen Kontaktbereich (7) eines Mikrochips (2), um ein chipinternes Signal zu messen, mit einer Abbildungsebene (3), in der der Kontaktbereich (7) vergrößert abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einblendvorrichtung vorgesehen ist, die geeignet ist, eine Darstellung des chipinternen Signals in der Abbildungsebene (3) vorzusehen.
|
| 申请公布号 |
DE10125798(A1) |
申请公布日期 |
2002.12.12 |
| 申请号 |
DE20011025798 |
申请日期 |
2001.05.26 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MARX, THILO;DIETRICH, STEFAN;MAYER, PETER;DOBLER, MANFRED |
| 分类号 |
G01B11/03;G01B11/14;(IPC1-7):G01R31/28;G01R31/303;G02B21/32;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/03 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
