| 主权项 |
1.一种加热方法,其特征为藉由具备互相隔开且并列的多数面板状加热器的加热装置,在互相邻接的上述加热器之间,将相对于上述加热器的加热表面而配置的加热对象加热之际,在各加热器的内部所设的气体流动空间,引进比加热器的设定温度更低温的气体,使被引进至其气体流动空间的气体,从上述加热表面的中央向四周流动。2.一种加热装置,其特征为具备互相隔开且并列的多数面板状加热器,在互相邻接的加热器之间,加热对象相对于加热器的加热表面而被配置,在各加热器内部设有气体流动空间,在其气体流动空间设有为了将气体引进的引进手段,被引进至其气体流动空间的气体,从上述加热表面的中央向四周流动,且其气体被引进至加热表面的中央附近。3.根据申请专利范围第2项之加热装置,其特征为上述气体引进手段,在上述气体流动空间具有从上述加热表面的中央附近吹出气体的吹出口,且在各加热器,引进至其气体流动空间的气体排出口被设在接近上述加热表面四周的位置。4.根据申请专利范围第3项之加热装置,其特征为设有一种隔墙,其系在各加热器,分割上述气体流动空间与加热表面中央附近的隔间,及此中央附近的隔间更接近四周的隔间;在其隔墙设有连络邻接隔间的气体流通孔,且在其加热表面的中央附近的隔间,藉由上述气体引进手段引进气体。5.根据申请专利范围第3项之加热装置,其特征为上述气体的排出口,从其排出口排出的气体并不直接喷吹上述加热对象,而是被设在比上述加热对象的配置领域更加离开上述加热表面中央的位置。6.根据申请专利范围第4项之加热装置,其特征为上述气体的排出口,从其排出口排出的气体并不直接喷吹上述加热对象,而是被设在比上述加热对象的配置领域更加离开上述加热表面中央的位置。7.根据申请专利范围第3至6项中任一项之加热装置,其中上述加热器被配置在具有加热对象的出入口的炉体内部,且将从上述排出口排出的气体,向其炉体的出入口引导的手段。图式简单说明:图1系本发明实施形态的加热装置的侧视图。图2系本发明实施形态的加热装置的平面图。图3系表示在本发明实施形态的加热装置的面板状加热器的并列状态的立体图。图4系在本发明实施形态的加热装置主要部份的侧视剖面图。图5系在本发明实施形态的加热装置主要部份的平面剖面图。图6系表示藉由本发明的加热装置加热过的基板温度及温度偏差的时间变化的图。 |
