| 主权项 |
1.一种圆形截面立体螺线管,包含:两支撑柱,分别与一经前处理之基板上两电感接点形成电气连接;及一双层立体螺线管,系由复数个具有一下层黏附层之条状下层导电层与复数个具有一上层黏附层之条状上层导电层所接合而成,该双层立体螺线管由头尾两端之该下层导电层与该两支撑柱形成电气连接,其中,该下层导电层与该下层黏附层系因应力不同而向上翘曲,且该上层导电层与该上层黏附层系因应力不同而向下翘曲,进而形成该双层立体螺线管之立体结构。2.如申请专利范围第1项所述之圆形截面立体螺线管,其中该支撑柱、该复数个下层导电层与该复数个上层导电层之材料系为导体材料,例如金、银、铜与铝。3.如申请专利范围第1项所述之圆形截面立体螺线管,其中该下层黏附层与该上层黏附层系为与该上层、下层导电层有不同应力之材料,例如镍与铬。4.一种圆形截面立体螺线管,包含:两支撑柱,分别与一经前处理之基板上两电感接点形成电气连接;及一双层立体螺线管,系由复数个具有一下层黏附层之条状下层导电层、复数个具有一上层黏附层之条状上层导电层与复数个导电连接柱所接合而成,该双层立体螺线管由头尾两端之该下层导电层与该两支撑柱形成电气连接,其中,该下层导电层与该下层黏附层系因应力不同而向上翘曲,且该上层导电层与该上层黏附层系因应力不同而向下翘曲,进而形成该双层立体螺线管之立体结构。5.如申请专利范围第4项所述之圆形截面立体螺线管,其中该支撑柱、该复数个下层导电层、该复数个导电连接柱与该复数个上层导电层之材料系为导体材料,例如金、银、铜与铝。6.如申请专利范围第4项所述之圆形截面立体螺线管,其中该下层黏附层与该上层黏附层之材料系为与该上层、下层导电层有不同应力之材料,例如镍与铬。7.一种圆形截面立体螺线管之制造方法,包含下列步骤:沉积一第一牺牲层于一经前处理之基板上,该基板具有至少两电感接点;定义两镀孔,该两镀孔系位于该两电感接点正上方;沉积一导电材料于该第一牺牲层上以形成一第一导电层并于该两镀孔之位置形成两支撑柱;沉积一第一黏附层于该第一导电层之上;沉积一第二牺牲层于该第一黏附层之上;于该第一黏附层与该第二牺牲层定义复数个第二镀孔;填注该导电材料于该复数个第二镀孔以形成复数个导电连接柱;依据该复数个第二镀孔之位置,刻图该第一导电层与该第一黏附层为复数个条状之下层导电层与下层黏附层;沉积一第三牺牲层并暴露出该复数个导电连接柱;沉积一第二黏附层于该第三牺牲层与该复数个导电连接柱之上;依据该复数个第二镀孔之位置,于该第二黏附层定义复数个第三镀孔;填注该导电材料于该复数个第三镀孔以形成复数个第二导电连接柱;沉积该导电材料于该第二黏附层与该复数个第二导电连接柱之上以形成一第二导电层;依据该复数个第三镀孔之位置,刻图该第二导电层与该第二黏附层为复数个条状之上层导电层与上层黏附层;及去除该第一牺牲层、该第二牺牲层与该第三牺牲层,利用该复数个上层导电层与上层黏附层之张应力不同而使其向下翘曲,并利用该复数个下层导电层与下层黏附层之张应力不同而向上翘曲。8.如申请专利范围第7项所述之圆形截面立体螺线管之制造方法,其中沉积该第一、第二与第三牺牲层之材料系为二氧化矽(SiO2)、氮化矽(Si3N4)与磷矽玻璃(phosphosilicate glass, PSG)任选其一。9.如申请专利范围第7项所述之圆形截面立体螺线管之制造方法,其中该导电材料系为导体材料,例如金、银、铜与铝。10.如申请专利范围第7项所述之圆形截面立体螺线管之制造方法,其中该第一黏附层与该第二黏附层可为与该导电材料有不同应力之材料,例如镍与铬。图式简单说明:第1图为本发明之圆形截面立体螺线管之示意图;第2图为本发明之圆形截面立体螺线管于制程最后一步骤之剖面图;第3图为本发明之圆形截面立体螺线管于制程结束结构开展时之剖面图;第4图为本发明之圆形截面立体螺线管于结构开展时之示意图;第5A-18B图分别为本发明之圆形截面立体螺线管制程之剖面图与上视图;及第19图为本发明之圆形截面立体螺线管于制程结束时之示意图。 |
