| 主权项 |
1.一种平板印刷术投射系统,其包括: 辐射系统以供给辐射之投射光束; 固定遮罩的遮罩载台,此遮罩载台由轻质材料制造 出,该轻质材料由一种高纯度熔融矽石以及超低膨 胀性玻璃选取出; 固定晶片之基质载台,此基质台架由轻质材料制造 出;及 光学系统,作为将遮罩的被照射部分形成影像于晶 片标的部分上。2.依据申请专利范围第1项之平板 印刷术投射系统,其中轻质材料由包含空隙之结构 所构成。3.一种平板印刷术投射系统,其包括: 构件,该构件作为供给辐射之投射光束; 固定遮罩的遮罩载台,此遮罩载台由轻质材料制造 出,该轻质材料一种由高纯度熔融矽石以及超低膨 胀性玻璃选取出; 固定晶片之基质载台,此基质台架由轻质材料制造 出;及 构件,该构件作为将遮罩的被照射部分形成影像于 晶片标的部分上。4.一种平板印刷术载台,其包括: 由轻质材料制造出平台,该材料由一种高纯度熔融 矽石以及超低膨胀性玻璃选取出;以及 构件,作为固定光学组件于平台上。5.依据申请专 利范围第4项之平板印刷术载台,其中轻质材料由 包含空隙之结构所构成。6.依据申请专利范围第4 项之平板印刷术载台,其中光学组件由遮罩以及晶 片选取出。7.依据申请专利范围第4项之平板印刷 术载台,其中更进一步包含附属组件于其底表面上 。8.依据申请专利范围第4项之平板印刷术载台,其 中更进一步包含连接平台至定位装置上之构件。9 .一种平板印刷术载台,其包括: 由轻质材料制造出平台,该材料种由一种高纯度熔 融矽石以及超低膨胀性玻璃种类选取出;以及 固定器,作为固定光学组件于平台上。10.一种制造 极紫外线平板印刷术载台之方法,该方法包括: 由玻璃材料挤制出包含空隙之结构,该轻质材料由 一种高纯度熔融矽石以及超低膨胀性玻璃选取出; 以及 将结构成形为极紫外线平板印刷术载台。11.依据 申请专利范围第10项之方法,其中极紫外线平板印 刷术载台由遮罩载台以及晶片载台选取出。12.依 据申请专利范围第10项之方法,其中玻璃材料由熔 融矽石超低膨胀性玻璃所构成。13.依据申请专利 范围第10项之方法,其中玻璃材料为含TiO2之矽石。 14.依据申请专利范围第10项之方法,其中玻璃材料 为含TiO2之矽石,TiO2含量在5%至10%重量比范围内。15 .依据申请专利范围第10项之方法,其中成形包含将 一块玻璃材料融合至挤制之结构上。图式简单说 明: 第一图(图1)是先前技术之极紫外光线平板印刷术 系统图。 第二图(图2)显示根据本发明一个实施例之极紫外 光线平板印刷术载台的图形。 第三图A,B,C(图3A,3B,3C)显示根据本发明另一实施例 之极紫外光线平板印刷术载台不同观察方向之图 示。 第四图(图4)显示根据本发明实施例之另一极紫外 光线平板印刷术载台的图形。 |
