双频共焦台阶高度显微测量装置

摘要

本发明属于表面形貌测量技术领域,涉及双频共焦台阶高度显微测量装置,包括横向塞曼激光器,依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜;放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜,放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜;还包括第二块分光镜,分别放置在该分光镜的反射光路上的格兰棱镜、会聚透镜、第二针孔和光电探测器,在其透射光路上的会聚透镜和光电探测器。本发明融合了双频激光干涉和扫描共焦显微技术以期提高分辨率和量程,同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求,并具有较低的成本,不仅满足微电子技术近期发展的需要,也可以进一步推广应用。

主权项

1、一种双频共焦台阶高度显微测量装置，其特征在于，包括横向塞曼激光器，依次放置在该激光器发射端轴线上的第一块分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、第一针孔、胶合透镜和偏振分光镜；放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜，放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜；还包括设置在该偏振分光镜的合光光路上的第二块分光镜，分别放置在该第二块分光镜的反射光路上的格兰棱镜、会聚透镜、第二针孔和光电探测器，在该第二块分光镜的透射光路上的会聚透镜和光电探测器。