| 发明名称 |
Method of manufacturing a non-volatile semiconductor memory device |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0827197(B1) |
申请公布日期 |
2002.12.11 |
| 申请号 |
EP19970119048 |
申请日期 |
1990.07.13 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
NODA, MASANORI;NAKAMURA, AKIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
