发明名称 Improvements in or relating to particle detectors
摘要
申请公布号 GB2367686(B) 申请公布日期 2002.12.11
申请号 GB20000019547 申请日期 2000.08.10
申请人 * LEO ELECTRON MICROSCOPY LIMITED 发明人 ARMIN HEINZ * HAYN
分类号 G01Q30/12;G01Q30/16;G01Q30/18;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244;H01J37/28 主分类号 G01Q30/12
代理机构 代理人
主权项
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