| 发明名称 | 真空微电子电场传感器 | ||
| 摘要 | 一种真空微电子电场传感器,包括阴极、栅极和阳极,所述的阳极至少为两个电极并相对于电子枪轴线对称地放置在同一平面上。本发明响应速度快、精度高、体积微小、重量轻。 | ||
| 申请公布号 | CN1384362A | 申请公布日期 | 2002.12.11 |
| 申请号 | CN01115635.X | 申请日期 | 2001.04.28 |
| 申请人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明人 | 夏善红 |
| 分类号 | G01R29/00;G01R29/12 | 主分类号 | G01R29/00 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 戎志敏 |
| 主权项 | 1.一种真空微电子电场传感器，包括阴极、栅极和阳极，其特征在于所述的阳极至少为两个电极并相对于电子枪轴线对称地放置在同一平面上。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区中关村路17号 | ||