| 发明名称 |
Molecular beam epitaxy equipment |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002344194(A1) |
申请公布日期 |
2002.12.09 |
| 申请号 |
AU20020344194 |
申请日期 |
2002.05.29 |
| 申请人 |
ADDON |
发明人 |
FRANCK STEMMELEN;PIERRE BOUCHAIB |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B23/02;C30B23/06;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/06;C23C14/24 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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