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摘要
申请公布号
JP3356031(B2)
申请公布日期
2002.12.09
申请号
JP19970315011
申请日期
1997.11.17
申请人
发明人
分类号
G01L9/04;G01L9/00;G01L19/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00
主分类号
G01L9/04
代理机构
代理人
主权项
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