| 发明名称 |
CONTAINER FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND DRIVE CONTROL METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2002353287(A) |
申请公布日期 |
2002.12.06 |
| 申请号 |
JP20010155368 |
申请日期 |
2001.05.24 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SUZUKI YOKO;TANAKA AKIRA;KISHI TAKASHI |
| 分类号 |
B65G49/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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