摘要 |
Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Resonatorelement der kristallographischen Punktgruppe 32, welches als Dickenscherschwinger in Kontakt mit einem Trägermedium betreibbar ist. Erfindungsgemäss ist das Resonatorelement (1) ein von temperaturkompensierten Kristallschnitten in Luft oder Vakuum abweichender, im Wesentlichen um den Winkel F um die kristallografische x-Achse gedrehter, einfach rotierter Y - Schnitt (S1, S2), welcher ohne Kontakt mit dem Trägermedium in einem vorbestimmten Temperaturbereich, vorzugsweise zwischen 10 DEG C und 40 DEG C, einen negativen Temperaturgang der Resonanzfrequenz f(T) aufweist, wobei bei Kontakt mit dem Trägermedium der Betrag des linearen Temperaturkoeffizienten a der Resonanzfrequenz im Messbereich kleiner 1 ppm/ DEG C, vorzugsweise kleiner 0,5 ppm/ DEG C ist. Das Resonatorelement (1) kann zusätzlich mit mindestens einer für den zu messenden Parameter sensitiven Schicht versehen sein.
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