发明名称 PIEZOELECTRIC RESONATOR ELEMENT OF CRYSTALLOGRAPHIC POINT GROUP 32
摘要 Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Resonatorelement der kristallographischen Punktgruppe 32, welches als Dickenscherschwinger in Kontakt mit einem Trägermedium betreibbar ist. Erfindungsgemäss ist das Resonatorelement (1) ein von temperaturkompensierten Kristallschnitten in Luft oder Vakuum abweichender, im Wesentlichen um den Winkel F um die kristallografische x-Achse gedrehter, einfach rotierter Y - Schnitt (S1, S2), welcher ohne Kontakt mit dem Trägermedium in einem vorbestimmten Temperaturbereich, vorzugsweise zwischen 10 DEG C und 40 DEG C, einen negativen Temperaturgang der Resonanzfrequenz f(T) aufweist, wobei bei Kontakt mit dem Trägermedium der Betrag des linearen Temperaturkoeffizienten a der Resonanzfrequenz im Messbereich kleiner 1 ppm/ DEG C, vorzugsweise kleiner 0,5 ppm/ DEG C ist. Das Resonatorelement (1) kann zusätzlich mit mindestens einer für den zu messenden Parameter sensitiven Schicht versehen sein.
申请公布号 WO02097984(A1) 申请公布日期 2002.12.05
申请号 WO2002AT00160 申请日期 2002.05.28
申请人 AVL LIST GMBH;THANNER, HERBERT;KREMPL, PETER 发明人 THANNER, HERBERT;KREMPL, PETER
分类号 G01N5/02;G01N27/00;H03H9/17;H03H9/19;H04R17/10;(IPC1-7):H03H9/17 主分类号 G01N5/02
代理机构 代理人
主权项
地址