METHOD FOR THE AUTOMATED RECOGNITION, SPECTROSCOPIC ANALYSIS AND IDENTIFICATION OF PARTICLES

摘要

Verfahren zur automatisierten Erkennung, spektroskopischen Analyse und Identifizierung von Partikeln, insbesondere partikulären Verunreinigungen, bei dem ein Laserstrahl über die Oberfläche eines Probenträgers, auf dem Partikel abgeschieden wurden, gescannt und die Streulichtintensität kontinuierlich gemessen wird, wobei für die spektroskopische Analyse und Identifizierung der Partikel nur partikel- und/oder grössensensitives Streulicht in einem definierten Winkelbereich relativ zur Trägeroberfläche detektiert wird.