摘要 |
<p>Es ist eine integrierte, abstimmbare Kapazität angegeben, bei der die Güte dadurch verbessert ist, daß anstelle von Source-/Drain-Gebieten hochdotierte Wannenanschlußgebiete (6) von großer Tiefe, beispielsweise als Kollektortiefimplantationsgebiete ausgebildet, vorgesehen sind. Hierdurch ist der Serienwiderstand der abstimmbaren Kapazität verringert. Die integrierte, abstimmbare Kapazität ist beispielsweise in integrierten, spannungsgesteuerten Oszillatorschaltungen anwendbar, bei denen eine hohe Güte gefordert ist.</p> |