多元钨酸盐负膨胀微晶陶瓷涂层及其制备方法

摘要

一种多元钨酸盐负膨胀微晶陶瓷涂层及其制备方法,陶瓷涂层组分为稳定的掺杂立方ZrW₂O₈固溶体微晶及非晶玻璃相,掺杂立方ZrW₂O₈固溶体中的元素,可以是三价金属元素,钼或磷元素,掺杂后的固溶体结晶相须保持稳定的立方相结构。采用湿化学工艺获得多元钨酸盐湿凝胶,在近零膨胀石英玻璃薄基片上,多次甩胶涂覆、热处理,形成致密无宏观缺陷的陶瓷涂层。本发明的陶瓷涂层与石英玻璃基片结合构成的叠层复合材料具有负膨胀行为,膨胀系数在温度为－20～80℃范围内为－2.0～－0.3×10^－6/℃。本发明的陶瓷涂层及其叠层复合材料,能用于制作非温敏性光器件或电子器件的温度补偿材料。

主权项

1、一种多元钨酸盐负膨胀微晶陶瓷涂层，其特征在于其组分是掺杂立方ZrW2O8固溶体微晶及非晶玻璃相，固溶体微晶的平均尺寸为200nm，玻璃相连续分布在微晶晶界上，含量占5～20％体积分数，掺杂在立方ZrW2O8固溶体中的元素，是三价金属元素、钼Mo或磷P元素中的一种或几种，掺杂总量与钨W的原子摩尔比不超过5％。