| 发明名称 |
APPARATUS FOR THE APPLICATION OF DEVELOPING SOLUTION TO A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1261434(A2) |
申请公布日期 |
2002.12.04 |
| 申请号 |
EP20010913188 |
申请日期 |
2001.02.27 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
PIKE, CHRISTOPHER, LEE |
| 分类号 |
B05C11/08;H01L21/00;(IPC1-7):B05C5/02 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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