发明名称 Verfahren zum Verdampfen oder Zerstäuben von Material aus einer ebenen Oberflächenschicht eines Festkörpers
摘要
申请公布号 CH454286(A) 申请公布日期 1968.04.15
申请号 CH19660015525 申请日期 1966.10.26
申请人 N. V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 JOHN MILLET,ERIC
分类号 G01N1/04;H01J49/18;H01J49/26;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 G01N1/04
代理机构 代理人
主权项
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