发明名称 | 晶片测试机的感测装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种晶片测试机的感测装置,由上、下探测组组成固设于机台并于感测电脑连接,以感测由上、下探测组间通过的转盘上的晶片并实际测试其电容、电阻、电感等实际值,依测得等级分类集中处理,所述上、下探测组内具有以绝缘片隔开的双拼式上、下探针,使通过的晶片可以实际测得最短距离的电阻值及该晶片的实际测试值是否相同或差异在允许范围内,以得知是否为均质的晶片。 | ||
申请公布号 | CN2524371Y | 申请公布日期 | 2002.12.04 |
申请号 | CN01272674.5 | 申请日期 | 2001.11.30 |
申请人 | 昆山万润电子科技有限公司 | 发明人 | 卢镜来 |
分类号 | H01L21/66;G01R27/02 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 苏州创元专利事务所有限公司 | 代理人 | 范晴 |
主权项 | 1.一种晶片测试机的感测装置,由上、下探测组(1)、(2)组成固设于机台(41)并于感测电脑连接,以感测由上、下探测组(1)、(2)间通过的转盘(3)上的晶片(33)并实际测试其电容、电阻、电感等实际值,依测得等级分类集中处理,其特征在于:所述上、下探测组(1)、(2)内具有以绝缘片(134)、(221)隔开的双拼式上、下探针。 | ||
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